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LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)采用振鏡掃描技術(shù),對樣品表面做快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到源表,再顯示 在軟件界面,用三維圖顯示樣品表面在同一個光強下電流分布,以此推算樣品的光電轉(zhuǎn)換均勻性和材料的缺陷分布。
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