說明：
DVIO-MO系列主動隔振光學(xué)平臺為韓國 DAEIL（大一）株式會社生產(chǎn)的主動隔振光學(xué)平臺，由臺面和主動隔振支撐兩部分組成。
臺面采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)，上臺面為 430 系列高導(dǎo)磁不銹鋼，臺面按照25mmX25mm 孔距均布 M6 螺紋孔，方便安裝儀器，每個螺紋孔下方具有獨立的隔離杯，方便清潔。中間是真蜂窩支撐結(jié)構(gòu)，是把 0.25 毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結(jié)構(gòu)，增加了臺面結(jié)構(gòu)的密度，減小體積，采用優(yōu)良的粘合工藝，堅固耐用。臺面的底部和側(cè)板用鋼板作為主體材料，具有非常好的動態(tài)和靜態(tài)的剛性。
主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機(jī)構(gòu)和主動隔振器 DVIA-M，每個支撐里面一般會有 4 個 DVIA-M 系列主動隔振器和一臺主控箱。主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅(qū)動器，主要消除 0.5-10Hz 的外部振動 , 被動隔振系統(tǒng)部分同時承擔(dān)著支撐負(fù)載和隔絕高頻率振動的作用。
這個系列的平臺可以在低頻范圍（0.5-10Hz）提供非常好隔振性能，它可以應(yīng)用于很多對振動要求非常高，甚至具有挑戰(zhàn)的領(lǐng)域，比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學(xué)研究和制備等。

DVIO-MO系列主動隔振光學(xué)平臺特點：
• 具有非常好的隔振性能，特別是在低頻2Hz-10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率。
• 采用慣性傳感器，可以檢測出六個自由度的振動，并做補(bǔ)償。
• 采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺面，厚度可選100/200/300mm。
• 進(jìn)口精密主動隔振光學(xué)平臺。
• 隔振性能優(yōu)異，廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡，原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀 ，半導(dǎo)體檢測設(shè)備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。

主動隔振光學(xué)平臺技術(shù)指標(biāo)：
• 隔振頻率：0.5~100Hz
• 自動平衡，響應(yīng)時間短，平衡速度快
• 鋼蜂巢內(nèi)核：鋼制蜂窩芯，鋼板厚度0.25mm,每個蜂巢面積3.2cm²
• 表面平整度：±0.1mm /600mm×600mm
• 臺面：4.0mm厚度430 系列高導(dǎo)磁不銹鋼
• 底面：4.0mm厚鋼板，表面氧化處理

邊墻板：2.0mm厚鋼板，包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔徑： M6 (英制螺孔可選)
• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可選)，最外邊孔距平臺邊緣
37.5mm
• 螺孔密封：每個螺紋孔下方設(shè)有柱形隔離杯密封，方便清潔
• 阻尼隔振方式：寬帶阻尼
選型表：